空氣過(guò)濾器的選用和配置: 潔凈室潔凈棚的凈化空調(diào)系統(tǒng)根據(jù)大氣含塵濃度、大氣中各種污染物濃度和產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點(diǎn)及要求配置各類空氣過(guò)濾器——粗效、中效、高中效、亞高效和高效、超高效以及化學(xué)過(guò)濾器等。具體凈化空調(diào)系統(tǒng)中空氣過(guò)濾器的配置和選用應(yīng)根據(jù)潔凈室的空氣潔凈度等級(jí)和產(chǎn)品生產(chǎn)工藝的特殊要求(當(dāng)工藝無(wú)特殊要求時(shí),一般都是按空氣潔凈度等級(jí)配置)合理配置和選用,對(duì)于6級(jí)(1 000級(jí))和比6級(jí)潔凈度差的潔凈室的凈化空調(diào)系統(tǒng)通常采用三級(jí)空氣過(guò)濾,即粗效、中效和高效過(guò)濾器;粗效、中效(或中高效)過(guò)濾器,通常設(shè)在空氣處理裝置(AHU)內(nèi),且將中效或中高效設(shè)在正壓段;高效或亞高效過(guò)濾器一般設(shè)在潔凈室內(nèi)凈化空調(diào)系統(tǒng)的末端,也有將高效過(guò)濾器集中設(shè)在集中的空氣處理裝置(AHU)內(nèi),但此時(shí)應(yīng)對(duì)送風(fēng)管道提出嚴(yán)格的清潔要求,以避免凈化后的空氣被污染。對(duì)于5級(jí)(100級(jí))和更嚴(yán)格的潔凈室的凈化空調(diào)系統(tǒng)中空氣過(guò)濾器的配置,應(yīng)根據(jù)潔凈室的總體設(shè)計(jì)方案及采用的凈化空調(diào)系統(tǒng)的要求配置各類過(guò)濾器,比如有的集成電路生產(chǎn)用4級(jí)(O.ltim)和更嚴(yán)要求的潔凈室采用新風(fēng)集中處理,為了嚴(yán)格去除大氣中的微粒和各種污染物,通常在新風(fēng)處理裝置中設(shè)置粗效、中效(中高效)、亞高效甚至高效過(guò)濾器和化學(xué)過(guò)濾器或水噴淋裝置等;在潔凈室的循環(huán)風(fēng)系統(tǒng)還設(shè)有高效、超高效和化學(xué)過(guò)濾器等;有的集成電路生產(chǎn)用潔凈室還在生產(chǎn)過(guò)程的某些生產(chǎn)區(qū)、生產(chǎn)工序或工藝設(shè)備設(shè)微環(huán)境裝置,以確保產(chǎn)品生產(chǎn)所需的空氣潔凈度要求。近年來(lái),由于大氣質(zhì)量的下降,特別是除大氣塵以外的一些化學(xué)污染物或微生物等的增加,某些工業(yè)產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境的更為嚴(yán)格的要求,在許多情況下僅僅采用“三級(jí)過(guò)濾器”的空氣凈化處理的概念已不能滿足需要,因此在進(jìn)行潔凈室的凈化空調(diào)系統(tǒng)設(shè)計(jì)時(shí),應(yīng)認(rèn)真了解產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求和當(dāng)?shù)氐拇髿赓|(zhì)量情況,實(shí)事求是地進(jìn)行空氣過(guò)濾器的配置。
空氣過(guò)濾器的額定風(fēng)量是過(guò)濾器在一定的濾速下,過(guò)濾器效率和阻力合理選擇時(shí)的風(fēng)量;所以在確定空氣過(guò)濾器型號(hào)規(guī)格時(shí),一般應(yīng)按小于或等于額定風(fēng)量選用。有時(shí)在具體工程設(shè)計(jì)中經(jīng)過(guò)技術(shù)經(jīng)濟(jì)比較和實(shí)際可能,常常風(fēng)淋室小于額定風(fēng)量選用過(guò)濾器,使阻力降低,可使凈化空調(diào)系統(tǒng)的運(yùn)行能量消耗下降,據(jù)資料ElOJ介紹,若采用模壓法制作過(guò)濾器可將過(guò)濾器阻力進(jìn)一步降低,有利于降低凈化空調(diào)系統(tǒng)的能耗。
中效過(guò)濾器宜集中設(shè)在系統(tǒng)的正壓段,這是考慮到若設(shè)在負(fù)壓段時(shí),易使沒(méi)有經(jīng)過(guò)中效空氣過(guò)濾器過(guò)濾的污染物較多的空氣漏入系統(tǒng)中,增加后續(xù)的高效過(guò)濾器等的負(fù)荷,縮短高效過(guò)濾器等的使用壽命。凈化空調(diào)系統(tǒng)中的高效過(guò)濾器作為末端過(guò)濾器時(shí),宜設(shè)在凈化空調(diào)系統(tǒng)的末端,一般設(shè)在潔凈室的頂棚上;對(duì)可能產(chǎn)生有害氣體或有害微生物的潔凈室,其高效過(guò)濾器的設(shè)置應(yīng)盡量靠近潔凈室,以防止這些有害污染物污染管道或由于管道漏風(fēng)使禾經(jīng)過(guò)濾的臟空氣污染生產(chǎn)環(huán)境;超高效過(guò)濾器必須設(shè)置在凈化空調(diào)系統(tǒng)的末端,以確保潔凈室所需的空氣潔凈度等級(jí);為便于潔凈室內(nèi)風(fēng)量分配及室內(nèi)平面風(fēng)速場(chǎng)的調(diào)整,一般將阻力、效率相近的高效過(guò)濾器安裝在同一潔凈室或潔凈區(qū),使系統(tǒng)阻力容易平衡。 潔凈室設(shè)計(jì)者在進(jìn)行空氣過(guò)濾器選型時(shí),最為關(guān)注的是過(guò)濾器在額定風(fēng)量下的效率、阻力等主要性能參數(shù),這些性能參數(shù)在各個(gè)國(guó)家地區(qū)均有各自的標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定及相應(yīng)的檢測(cè)方法,各過(guò)濾器生產(chǎn)廠家也根據(jù)以上標(biāo)準(zhǔn)制定自己的產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)提供給用戶,其中過(guò)濾器效率的標(biāo)準(zhǔn)、試驗(yàn)方法各不相同,歐洲在20世紀(jì)70年代便推出了EU系列空氣過(guò)濾器標(biāo)準(zhǔn),從EU1~EU14共14個(gè)等級(jí);20世紀(jì)90年代又推出了G-FPH-U的分級(jí)標(biāo)準(zhǔn),共有17個(gè)等級(jí);1996年美國(guó)也推出以C1~C4、L5~L7、M9~M12、H13~H16、UH17~UH20的過(guò)濾器效率分級(jí)標(biāo)準(zhǔn);1999年歐洲標(biāo)準(zhǔn)委員會(huì)(CEN)又以EN1822-1發(fā)布了MPPS(最易穿透粒徑)的測(cè)試方法和分級(jí)標(biāo)準(zhǔn);風(fēng)淋室廠家在后面將介紹我國(guó)制定的空氣過(guò)濾器和高效空氣過(guò)濾器的國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)的情況,過(guò)濾器效率分級(jí)為粗效、中效、高中效、亞高效和A、B、C、D高效過(guò)濾器等。